中国科学院长春应用化学研究所专利技术简介


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高分子模板的制作及其在热模塑图案化技术中的应用

本方法以高分子模板替代Si, SiO2等模板进行高分子薄膜的热模塑微图案化。高分子模板由转移微模塑方法制作。高分子模板与Si, SiO2等模板相比,具有加工方法简单,加工迅速,成本低廉等优点,使热模塑微图案化技术能更好的在实际中得到应用。

 

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